填空题直拉单晶炉热系统中用（）从数量上描述温度分布情况。
填空题（）是热系统的主体，用（）制成。
填空题直拉单晶炉热系统由（）、（）、（）等组成。
填空题常用氩气净化方法：（），（）和（）三种。
填空题液态氩在通入单晶炉前要经过（），经过缓冲罐进入单晶炉，这样可以使气流稳定。
