填空题（）是热系统的主体，用（）制成。
填空题直拉单晶炉热系统由（）、（）、（）等组成。
填空题常用氩气净化方法：（），（）和（）三种。
填空题液态氩在通入单晶炉前要经过（），经过缓冲罐进入单晶炉，这样可以使气流稳定。
填空题直拉单晶炉拉制单晶过程中，一般用（）做保护气氛。
