填空题直拉单晶炉拉制单晶过程中，一般用（）做保护气氛。
填空题热偶规管的测量原理是，真空系统对单晶炉抽气，随着炉内（），从热阻丝上带走的热量减少，热电偶温度上升，热电势上升，毫伏表指针在刻度盘上移动，指示出不同的真空度。
填空题真空泵工作一段时间后，由于（）作用，真空泵质量下降，要定期更换新油。
填空题旋片式真空泵中（），对旋片真空泵的正常运转和能达到的极限真空有决定意义。
填空题两级旋片式真空泵比单级旋片真空泵具有（）和（）的优势。
