换能器的作用就将超声频的电信号转化成（）。-找考题网

填空题超声加工去除材料的机理是磨料的（）作用产生微裂纹、（）作用，以及液体在超声振动下产生的（）现象和楔入裂纹缝隙，也加强了破坏蚀除作用，故只能加工（）材料。

填空题超声冲击磨蚀采用机械能量，超声复合加工有：（）、（）、（）以及（）。

填空题常用的超声变幅杆有（）、（）、（）及（）等形式。

判断题离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

判断题由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射，产生不稳定现象，所以在加工过程中，需要利用真空吸力，不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。

判断题只有在较高的真空条件中，电子和离子才能高速运动。

判断题离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。

判断题离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。

判断题离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。

判断题离子束加工和电子束加工类似，主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。

填空题通常所说的“三束加工”（高能束）是指（）和（）

填空题（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。

填空题离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。

填空题在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。

填空题金属的离子注入改性目的在于提高金属的（）性能、（）强度和（）性能。