问答题

论述题简述BOE（或BHF）刻蚀SiO₂的原理。

【参考答案】

二氧化硅腐蚀最常见的湿法腐蚀工艺之一是在稀释的HF溶剂中进行的SiO₂湿法腐蚀法。常用腐蚀液配比是6：1，10：1，50：1，意味着6份，10份或50份（体积）的水于一份HF混合。发生的总反应如下：SiO₂+6HF→H_{2SiO
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