A.靶材B.纳米金属墨水C.不锈钢真空室D.玻璃观察窗
多项选择题使用氦气检漏的原因是（）。
A.体积小B.惰性气体C.无污染D.容易驱散
多项选择题UTM-A 系列泵，可调节转速后会有哪些好处（）？
A.可调整排气速度B.可调节腔体真空度C.无需流量调节阀D.降低故障风险
多项选择题油扩散泵的优点是什么（）？
A.构造简单、故障少B.价格低廉C.低振动低噪音D.可高速运转
多项选择题离子溅射泵的特点是什么（）？
A.无机械运动部分B.无振动C.无需再生D.无噪音
多项选择题属于高真空泵的是哪一种（）？
A.分子泵B.扩散泵C.油回转泵D.低温泵
