要保证退火炉内的露点要求，纯化后的氮气的露点要小于（）。

单项选择题还原退火炉内，保护气体H2浓度越高，则基板表面氧化膜被还原的速度（）。

A.越快
B.越慢
C.无变化

单项选择题还原退火炉正常生产时，要保证炉内始终（）。

A.微正压
B.微负压
C.与外界等压

单项选择题停炉时，氢含量低于（）时，方可将温度降低到700℃。

A.2%
B.4%
C.6%
D.10%

单项选择题1mm高水柱的压力，约为（）pa。

A.1
B.10
C.100
D.200

单项选择题钝化液中的（）铬，与基板发生反应。

A.六价
B.三价
C.五价
D.四价