A.剧毒 B.无毒 C.低毒 D.中毒
单项选择题要保证退火炉内的露点要求，纯化后的氮气的露点要小于（）。
A.0℃ B.-30℃ C.-60℃ D.－50℃
单项选择题还原退火炉内，保护气体H2浓度越高，则基板表面氧化膜被还原的速度（）。
A.越快 B.越慢 C.无变化
单项选择题还原退火炉正常生产时，要保证炉内始终（）。
A.微正压 B.微负压 C.与外界等压
单项选择题停炉时，氢含量低于（）时，方可将温度降低到700℃。
A.2% B.4% C.6% D.10%
单项选择题1mm高水柱的压力，约为（）pa。
A.1 B.10 C.100 D.200
