找考题网-背景图
单项选择题

两极间接上射频电源后,两极间等离子体中的正离子轰击靶材、溅射出靶材原子从而沉积在基板表面成膜的技术是()

A.直接三级溅射
B.磁控溅射
C.射频溅射
D.直流二级溅射