A.曝光波长B.模板图案尺寸C.数值孔径
单项选择题X射线光刻技术与传统光刻技术相比，是通过（）的手段来提高分辨率的。
A.减小波长B.增加数值孔径C.减小与系统有关的常数值
多项选择题制备好的溶胶可通过（）方法实现成膜。
A.浸渍提拉法B.旋覆法C.喷涂法D.等离子体法
