CIMS的两个支撑子系统是（）。

单项选择题在机器人控制系统中下列不属于按其控制方式划分的是（）。

A.集中控制方式
B.主从控制方式
C.分散控制方式
D.点位式

单项选择题衡量机器人技术水平的主要指标是（）。

A.自由度
B.工作空间
C.提取重力
D.运动速度

单项选择题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

a.离子束刻蚀、激光刻蚀
b.干法刻蚀、湿法刻蚀
c.溅射加工、直写加工

单项选择题工业机器人有多种分类方式，下列不属于按驱动方式分类的是（）。

a.气压传动机器人
b.液压传动机器人
c.电器传动机器人
d.智能机器人

单项选择题硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。

a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；

单项选择题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术

单项选择题光刻加工的工艺过程为：（）

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

单项选择题在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时，常采用的测量仪器为（）。

A.光学显微镜
B.扫描隧道显微镜
C.原子力显微镜

单项选择题FMS非常适合（）。

A.大批大量生产方式
B.品种单一、中等批量生产方式
C.多品种、变批量生产方式

单项选择题计算机集成制造技术强调（）。

A.企业的经营管理
B.企业的虚拟制造
C.企业的功能集成