A.集中控制方式B.主从控制方式C.分散控制方式D.点位式在机器人控制系统中下列不属于按其控制方式划分的是（）……

单项选择题衡量机器人技术水平的主要指标是（）。

A.自由度
B.工作空间
C.提取重力
D.运动速度

单项选择题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

a.离子束刻蚀、激光刻蚀
b.干法刻蚀、湿法刻蚀
c.溅射加工、直写加工

单项选择题工业机器人有多种分类方式，下列不属于按驱动方式分类的是（）。

a.气压传动机器人
b.液压传动机器人
c.电器传动机器人
d.智能机器人

单项选择题硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。

a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；

单项选择题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术

单项选择题光刻加工的工艺过程为：（）

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

单项选择题在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时，常采用的测量仪器为（）。

A.光学显微镜
B.扫描隧道显微镜
C.原子力显微镜

单项选择题FMS非常适合（）。

A.大批大量生产方式
B.品种单一、中等批量生产方式
C.多品种、变批量生产方式

单项选择题计算机集成制造技术强调（）。

A.企业的经营管理
B.企业的虚拟制造
C.企业的功能集成

单项选择题下列哪种说法不符合绿色制造的的思想（）。

A.对生态环境无害
B.资源利用率高，能源消耗低
C.为企业创造利润

单项选择题ERP的含义是（）。

A.制造资源计划
B.物料需求计划
C.企业资源计划
D.产品数据管理

单项选择题机床进给伺服系统常用的检测角位移的原件是（）。

a.感应同步器
b.光栅
c.容栅
d.脉冲编码器

单项选择题高速加工机床的进给系统机构大多采用（）。

A.直线电机
B.滑动丝杠传动机构
C.摩擦传动机构

填空题压电驱动技术是（）和（）在机械领域的应用。

填空题CIMS分成五个层次，即（）、（）、（）、（）和设备级。