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多项选择题

实现超精密加工的技术支撑条件主要包括:()、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。

A.超精密加工机理与工艺方法
B.超精密加工机床设备
C.超精密加工工具
D.测量补偿
E.误差补偿