A.加工参数B.加工环境C.加工温度D.加工时间E.加工质量精密研磨、抛光时主要工艺因素有工艺设备、研具、磨粒……

多项选择题实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。

A.超精密加工机理与工艺方法
B.超精密加工机床设备
C.超精密加工工具
D.测量补偿
E.误差补偿

单项选择题纳米技术是指纳米级（）nm的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术。

A.0.01-10
B.0.1-100
C.1-1000
D.10-10000