A.离子源是否被沾污B.真空系统是否漏气C.原材料是否满足纯度要求D.光刻胶的碱性元素沾污
多项选择题离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）
A.静电扫描B.机械扫描C.混合扫描D.平行扫描
多项选择题传统的平坦化技术有（）
A.反刻法B.高温回流法C.旋涂玻璃法D.化学机械抛光法
