A.静电扫描B.机械扫描C.混合扫描D.平行扫描离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）……

多项选择题传统的平坦化技术有（）

A.反刻法
B.高温回流法
C.旋涂玻璃法
D.化学机械抛光法

多项选择题金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）

A.直流溅射
B.射频溅射
C.磁控溅射
D.准直溅射

多项选择题铝的电迁移可能导致的结果是（）

A.阳极短路
B.阳极断路
C.阴极短路
D.阴极断路

多项选择题影响显影工艺的因素有（）。

A.曝光度
B.显影液浓度
C.显影方法
D.工序的温度和时间容量

多项选择题下列哪些是进行光刻前的预处理的步骤？（）

A.脱水烘烤
B.旋转涂布法涂HMDS
C.气拍涂底法涂HDMS
D.软烘