A.快速热退火及升温速度和保持时间是否准确B.检查是否有沟道效应C.检查注入能量系统D.检查注入速度和时间是否准确
多项选择题以下是离子注入过程中的主要参数的是（）
A.剂量与束流密度B.射程与注入能量C.注入角度D.晶圆
多项选择题下列可能造成离子源沾污的因素是（）
A.离子源是否被沾污B.真空系统是否漏气C.原材料是否满足纯度要求D.光刻胶的碱性元素沾污
