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单项选择题

A.电子束曝光技术B.离子束曝光技术C.X射线曝光技术光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是()……

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是()

A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术

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