A.掩膜版 B.扩散 C.光刻
单项选择题反应离子腐蚀是（）。
A.化学刻蚀机理 B.物理刻蚀机理 C.物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合
单项选择题恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为（）分布。
A.高斯 B.余误差 C.指数
