下列不属于先进制造工艺所具有的显著特点的是（）。

单项选择题下列不是制造自动化分系统的是（）。

C.机械加工系统
B.控制系统物
C.质量保证子系统d.监控系统

单项选择题CIMS的两个支撑子系统是（）。

A.工程设计自动化子系统、管理信息子系统；
B.制造自动化子系统、质量保证子系统
C.计算机网络子系统、数据库子系统

单项选择题在机器人控制系统中下列不属于按其控制方式划分的是（）。

A.集中控制方式
B.主从控制方式
C.分散控制方式
D.点位式

单项选择题衡量机器人技术水平的主要指标是（）。

A.自由度
B.工作空间
C.提取重力
D.运动速度

单项选择题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

a.离子束刻蚀、激光刻蚀
b.干法刻蚀、湿法刻蚀
c.溅射加工、直写加工

单项选择题工业机器人有多种分类方式，下列不属于按驱动方式分类的是（）。

a.气压传动机器人
b.液压传动机器人
c.电器传动机器人
d.智能机器人

单项选择题硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。

a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；

单项选择题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术

单项选择题光刻加工的工艺过程为：（）

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

单项选择题在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时，常采用的测量仪器为（）。

A.光学显微镜
B.扫描隧道显微镜
C.原子力显微镜