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多项选择题

等离子体增强化学气相沉积中等离子体的作用是()

A.将反应物中的气体分子激活成活性离子,降低反应所需的温度
B.加速反应物在表面的扩散作用(表面迁移),提高成膜速度
C.对于基体及膜层表面具有溅射作用,溅射掉那些结合不牢的粒子,加强了形成的薄膜和基板的附着力
D.等离子体能够降低镀膜气体分子的平均自由程