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多项选择题

A.基板清洁,不能吸附各种气体杂质B.温度要高C.真空度高D.沉积速率低获取单晶薄膜需要哪些条件()……

获取单晶薄膜需要哪些条件()

A.基板清洁,不能吸附各种气体杂质
B.温度要高
C.真空度高
D.沉积速率低