CVD中干泵进行Purge和Sealing的气体是（）

单项选择题CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）

A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber

单项选择题CVD中起到冷却作用的设备是（）

A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber

单项选择题下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）

A.EPD（末端探测仪）
B.MFC（质量流量控制器）
C.Orifice（过压阀）
D.APC（自动压力控制器）

单项选择题相比Wet Etch，下列哪一项不是Dry Etch的优点（）

A.刻蚀精度高
B.刻蚀速度高
C.运营成本低
D.更环保

单项选择题CVD设备中内部有Robot的设备是（）

A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber