氧化增强扩散（OED）机理—存在替位-间隙交替的双扩散； 氧化抑制扩散（ORD）机理—以替位扩散为主。
名词解释什么是薄层电阻; 薄层电阻名词解释定义是什么?
名词解释什么是U（x）; U（x）名词解释定义是什么?
名词解释什么是超细颗粒; 超细颗粒名词解释定义是什么?
名词解释什么是10级0.3um; 10级0.3um名词解释定义是什么?
名词解释什么是1级净化间; 1级净化间名词解释定义是什么?
