填空题拉制的硅单晶沿[111]晶向生长的有()的棱线,沿[100]晶向生长有()均匀分布的棱线。
填空题籽晶是生长晶体的种子,也叫晶种,用籽晶引单晶,就是在将结晶的熔体中加入()。
填空题对于多晶硅、籽晶、母合金上的油污光用丙酮或苯去掉,石英坩埚表面的沾污用洗涤剂或肥皂清洗,然后进行清洁处理,多晶硅、母合金、籽晶一般用()腐蚀。
填空题采用母合金作为掺杂剂,主要是为了(),从而达到()的目的。
填空题常用的母合金有硅磷母合金和硅硼母合金。杂质浓度一般大于()个原子 cm3(电阻率为10-2~10-3欧姆•厘米)。