填空题对于多晶硅、籽晶、母合金上的油污光用丙酮或苯去掉，石英坩埚表面的沾污用洗涤剂或肥皂清洗，然后进行清洁处理，多晶硅、母合金、籽晶一般用（）腐蚀。
填空题采用母合金作为掺杂剂，主要是为了（），从而达到（）的目的。
填空题常用的母合金有硅磷母合金和硅硼母合金。杂质浓度一般大于（）个原子 cm3（电阻率为10-2～10-3欧姆•厘米）。
填空题拉制电阻率较高硅单晶1～102欧姆•厘米，采用（）作掺杂剂，即就是（）与硅的合金。
填空题拉制硅单晶的电阻率范围不同，掺杂剂的形态也不一样，拉制低电阻率10-2～10-4欧姆•厘米的P型硅单晶，一般掺（）。
