简答题 比较磁控溅射法与化学气相沉积法的特点是什么？

【参考答案】

所谓“溅射”就是荷能粒子轰击固体表面（靶），使固体原子（或分子）从表面射出的现象。应用这一现象将溅射出来的物质沉积到基片或工作表面形成薄膜的方法称为溅射（镀膜）法。溅射过程是建立在辉光放电的基础上，辉光放电产生于真空度为10～1Pa的稀薄气体中的外加电压的两电极间。溅射原理：向高真空系统内加入少量所......

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