简答题 薄膜材料制备方法主要有哪些？

【参考答案】

以蒸发沉积为基础发展了电子束蒸发沉积、分子束外延薄膜生长（MBE）、加速分子束外延生长；
以载能束与固体相互作用为基础，先后出现了离子束溅射沉积、脉冲激光溅射沉积（PLD）、强流离子束蒸发沉积、离子束辅助沉积（IBAD）、低能离子束沉积；
以等离子体技术为基础发展了等离子体增强化......

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