电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束（），因而可获得更加精细的图样。-找考题网

填空题离子束加工时，由于离子质量大，当速度高、能量大时，垂直撞击时离子可注入工件材料内部，称（）。当速度低、能量小时，离子可以溅射镀覆在工件表面，称（）。当能量速度（）而倾斜撞击工件时，可将工件表面的分子，原子撞击出去，一层一层的剥离下来，称为（）加工或（）加工。

判断题爆炸成形适合于大批量的小型简单工件加工。

判断题化学镀也叫做自催化镀。

判断题化学抛光对低碳钢的抛光效果比高碳钢的差。

判断题光化学加工是时间越长，加工的腔体拐角半径越大。

判断题光化学加工装置比化学加工的装置更为简单。

判断题与化学加工相比较，光化学加工的不仅质量更好，而且效率更高。

判断题化学加工是光化学加工的一个特例。

判断题光化学加工对操作者的技能要求比化学加工的更低。

判断题化学加工的孔侧面不会产生过切量。

判断题化学加工各向异性的材料能获得较好的表面质量。

判断题化学加工会暴露工件材料内部原有的缺陷。

判断题化学加工可以做到多个工件或单个工件个多个表面同时加工。

判断题化学加工后工件会留下毛刺并产生加工应力。

判断题化学加工的腐蚀深度与腐蚀液成分、浓度、温度、搅拌等有关，而与在腐蚀液里停留的时间无关。