A.按装方向自由B.控制器和泵体集成化C.高压缩比高背压D.采用磁浮轴承
多项选择题离子溅射泵优点是什么（）？
A.可获得超、极高真空B.安装方向自由C.无油环境D.无噪音无振动
多项选择题对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。
A.抑制异常放电B.正常放电恢复速度C.使用寿命D.维修速度
多项选择题应用在真空中的各式材料包括（）。
A.靶材B.纳米金属墨水C.不锈钢真空室D.玻璃观察窗
多项选择题使用氦气检漏的原因是（）。
A.体积小B.惰性气体C.无污染D.容易驱散
多项选择题UTM-A 系列泵，可调节转速后会有哪些好处（）？
A.可调整排气速度B.可调节腔体真空度C.无需流量调节阀D.降低故障风险
