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单项选择题

A.涂布光刻胶B.清洗glass基板C.加热干燥,去除光刻胶里面的solventD.真空干燥,去除光刻胶里面的……

PHOTO设备中VCD的作用是()

A.涂布光刻胶
B.清洗glass基板
C.加热干燥,去除光刻胶里面的solvent
D.真空干燥,去除光刻胶里面的solvent