简答题 简要说明物理气相沉积和化学气相沉积的区别是什么？

【参考答案】

物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术；
化学气相沉积是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固......

(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)