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问答题

简答题 什么叫气相沉积技术?气相沉积技术的种类?

【参考答案】

(1)气相沉积技术
是通过一定的方式,将待沉积的材料通过汽化由气相直接沉积于待处理物体表面的技术
(2)气相沉积技术的分类
1.物理气相沉积(PVD)
2.化学气相沉积(CVD)
3.等离子体化学气相沉积(PCVD)