(1)气相沉积技术 是通过一定的方式,将待沉积的材料通过汽化由气相直接沉积于待处理物体表面的技术 (2)气相沉积技术的分类 1.物理气相沉积(PVD) 2.化学气相沉积(CVD) 3.等离子体化学气相沉积(PCVD)
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