解决变间隙式电容传感器提高 K₀与Y₀间的矛盾，可采用（）电容传感器，后者与前者相比，不仅灵敏度（），而且非线性误差也（）。但是，它还受电容极板间（）的限制，为此，常采用（）的变间隙式电容传感器。

填空题变间隙式电容传感器的初始间隙d0越小，传感器的灵敏度K0（）、非线性误差Y0（），以上说明，提高K0与减小Y0（）。在实际应用中，为使传感器具有足够大的K0值，通常使（），如果还必须使Y0具有足够小的值，则还应满足（），这就是它只能用于测量（）的原理。

填空题按工作原来的不同，电容式传感器可分为（）、（）和（）三种类型。第一种常用于测量（），第二种常用于测量（），第三种常用于测量（）。