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填空题

按工作原来的不同,电容式传感器可分为()、()和()三种类型。第一种常用于测量(),第二种常用于测量(),第三种常用于测量()。

【参考答案】

变间隙式;变面积式;变介电常数式;微小位移;角位移或较大的线位移;物位