简答题 简要说明XPS光电子能谱分析的工作原理及其应用。

【参考答案】

X射线光电子能谱的理论基础是光电效应。当X射线光子照射样品，光子的能量大于原子中的电子结合能和样品的功函数时，则吸收了光子的电子可以脱离样品表面进入真空中，且具有一定的能量。其能量关系为，其中hv为入射光子的能量；Eb、Ek为光电子的结合能和动能。不同元素不同价态具有不同的动能，用能量分析器测出Ek......

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