简答题 电子束入射固体样品表面会激发哪些信号？它们有哪些特点和用途？

【参考答案】

主要有六种：
1）背散射电子：能量高；来自样品表面几百nm深度范围；其产额随原子序数增大而增多.用作形貌分析、成分分析以及结构分析。
2）二次电子：能量较低；来自表层5—10nm深度范围；对样品表面化状态十分敏感。不能进行成分分析.主要用于分析样品表面形貌。

(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)