问答题光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？
问答题解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？
问答题光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么？
问答题例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。
问答题描述曝光波长和图像分辨率之间的关系。
