问答题例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。
问答题描述曝光波长和图像分辨率之间的关系。
问答题例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。
问答题在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?
问答题例出光刻的8个步骤,并对每一步做出简要解释。