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单项选择题

A.直接三级溅射B.磁控溅射C.射频溅射D.直流二级溅射两极间接上射频电源后,两极间等离子体中的正离子轰击靶材……

两极间接上射频电源后,两极间等离子体中的正离子轰击靶材、溅射出靶材原子从而沉积在基板表面成膜的技术是()

A.直接三级溅射
B.磁控溅射
C.射频溅射
D.直流二级溅射