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问答题

简答题

下图是一个电路的部分版图,求A到B的总电容,已知某工艺的典型面电容值为:Cox为0.6,金属与衬地为0.03,金属与多晶硅为0.045,金属与扩区为0.05,多晶硅与衬地为0.045,面电容的单位为fF/μm2)。

【参考答案】

金属与衬底:58λ2×0.03=1.74λ2,多晶硅栅电容:4λ2×0.6=2.4λ2
多晶硅与衬底:24λ2×0.045=1.08λ2,总电容=5.22λ2fF/μm2