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问答题

简答题 扫描电镜的分辨率受哪些因素的影响?用不同的信号成像时,其分辨率有何不同?

【参考答案】

扫描电子显微镜的分辨率与电子束束斑大小、检测信号种类、检测部位原子序数有关。