简答题 试叙述光电极值法监控膜厚的基本原理。

【参考答案】

光通过正在镀膜的比较片时，随着薄膜厚度的增加，比较片的透射率（反射率）会发生周期性的变化，且薄膜光学厚度每变化λ/4时，透射率出现一次极值。利用光电测光方法测量正在镀制膜层的T（或R）随膜层厚度增加过程中的极值个数，可以获得以λ/4为单位的整数厚度的膜层。