利用X射线荧光光谱技术对元素进行定性和定量分析的理论依据是莫塞莱定律、布拉格定律和朗伯比尔定律。 因为X射线荧光光谱分析是利用元素的特征X射线，而氢和氦原子只有K层电子，不能产生特征X射线，所以无法进行荧光光谱分析。锂原子虽然能产生X射线，但产生的特征X射线波长太长，通常无法进行检测。
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