简答题 试说明电子束入射固体样品表面激发的主要信号、主要特点和用途。

【参考答案】

（1）背散射电子：能量高；来自样品表面几百nm深度范围；其产额随原子序数增大而增多.用作形貌分析、成分分析以及结构分析。
（2）二次电子：能量较低；来自表层5－10nm深度范围；对样品表面状态十分敏感.不能进行成分分析.主要用于分析样品表面形貌。
（3）吸收电子：其衬度恰好和SE......

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