每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为自由程, 其统计平均值: 称为平均自由程
判断题气体分子的速度具有很大的分布空间。温度越高、气体分子的相对原子质量越小,分子的平均运动速度越快。
判断题薄膜的组织结构是指它的结晶形态,其结构分为四种类型:无定形结构,多晶结构,纤维结构,单晶结构。
判断题表征溅射特性的参量主要有溅射率、溅射阈、溅射粒子的速度和能量等。
判断题在气体成分和电极材料一定条件下,起辉电压V只与气体的压强P和电极距离的乘积有关。
判断题薄膜形成与生长的三种模式:层状生长,岛状生长,层状-岛状生长。