① 素材本身：包括wafer，气体，纯水，化学药品。 ② 外在环境：包含洁净室，传送系统与程序。 ③ 操作人员：包含无尘衣，手套。 ④ 设备零件老化与制程反应中所产生的副生成物。
问答题何谓Defect？
问答题YE工程师的主要工作内容？
问答题如何improve base line defect？
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问答题YE工程师的主要任务？
