简答题 何谓Defect？

【参考答案】

Wafer上存在的有形污染与不完美，包括
① Wafer上的物理性异物（如：微尘，工艺残留物，不正常反应生成物）。
② 化学性污染（如：残留化学药品，有机溶剂）。
③ 图案缺陷（如：Photo或etch造成的异常成象，机械性刮伤变形，厚度不......

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