优点是：1）利用自对准技术减少了光刻次数，可以降低成本； 2）能够有效避免栅源和栅漏的交叠面积，提高对准精度，减小寄生电容。
问答题简述薄膜晶体管沟道上面的金属层M3有两种作用。
问答题简述偏移结构的制作过程。
问答题简述低温多晶硅薄膜晶体管组成的CMOS驱动电路的优点。
问答题简述低温多晶硅技术的挑战。
问答题简述低温多晶硅薄膜晶体管特点。
