应选用电子探针仪，或者是配置有波谱仪或能谱仪的扫描电镜。 操作方法是：先扫描不同放大倍数的二次电子像，观察断口的微观形貌特征，然后在断口图像上圈定所要分析的粒状夹杂物，用波谱仪或能谱仪定点分析其化学成分（确定元素的种类和含量）。
问答题要分析钢中碳化物成分和基体中碳含量，应选用什么仪器？为什么？
问答题为什么说电子探针是一种微区分析仪？
问答题试比较波谱仪和能谱仪在进行微区化学成分分析时的优缺点。
问答题二次电子像的衬度和背散射电子像的衬度各有何特点？
问答题为什么扫描电镜的分辨率和信号的种类有关？试将各种信号的分辨率高低作一比较。
